半導(dǎo)體FPD等領(lǐng)域
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熱處理成膜設(shè)備用軸承
熱處理成膜設(shè)備采用的是在高溫環(huán)境下也可進(jìn)行潤滑的特殊規(guī)格的軸承魁瞪。
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EB電子束曝光設(shè)備用軸承
由于 EB 電子束曝光設(shè)備使用的軸承在強(qiáng)磁場環(huán)境下工作植旧,因此采用的是非磁性材質(zhì)的陶瓷軸承蜜葱。
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蝕刻設(shè)備用軸承
由于蝕刻設(shè)備用軸承在暴露于蝕刻液的狀態(tài)下工作舔腾,所以使用的是耐腐蝕性強(qiáng)的陶瓷材質(zhì)軸承妨屑、及 采用了PTFE 涂層的軸承旋炒。
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離子注入設(shè)備用軸承
離子注入設(shè)備的真空室內(nèi)采用的是捷太格特的高潔凈軸承尤泽,可避免因在真空中進(jìn)行潤滑歌逢、受到磨損等而產(chǎn)生雜質(zhì)巾钉。
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濺鍍設(shè)備用軸承
濺射設(shè)備的高溫、真空室內(nèi)采用的是高溫 Clean Pro 規(guī)格的軸承秘案。
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CMP設(shè)備用軸承
由于 CMP 設(shè)備軸承在暴露于研削液的環(huán)境下工作砰苍,所以使用的是耐腐蝕性強(qiáng)的陶瓷材質(zhì)軸承,及采用了 PTFE 涂層的軸承阱高。
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檢測設(shè)備用軸承
檢測設(shè)備用軸承采用的是對檢查不造成影響的非磁性軸承赚导。
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晶片運(yùn)送設(shè)備用軸承
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晶片運(yùn)送設(shè)備要求具備粉塵排放量低、使用壽命長的特點(diǎn)。
為滿足該用途吼旧,該裝置采用的是與 Clean Pro 規(guī)格的組合陶瓷直線導(dǎo)軌凰锡,以及薄壁式 K 系列的深溝球型組合陶瓷軸承。